파티클 발생 문제 —
베어링 소재 교체로
해결한 반도체 라인 사례

파티클 원인을 찾는데 베어링은 보지 않았습니다

클린룸 파티클 불량이 발생하면 대부분 다음 순서로 원인을 추적합니다. 작업자 복장 → 에어 필터 점검 → 공정 부산물 → 설비 시일 상태. 이 과정에서 베어링과 롤러가 목록에 오르는 경우는 드뭅니다.

그런데 스틸 베어링은 운전 중 금속 마모 분진을 지속적으로 발생시킵니다. 그리스나 오일을 사용하는 경우 오염물이 기화하거나 비산합니다. ISO Class 5 이하 고청정 환경에서는 이 분진 하나가 웨이퍼 한 장을 폐기시키기에 충분한 크기입니다.

베어링이 파티클을 만드는 3가지 경로

클린룸 등급별 소재 선택 기준

파티클 발생원이 베어링으로 특정됐다면, 교체 소재는 클린룸 등급과 운전 조건에 따라 결정합니다.

증상으로 보는 파티클 발생원 진단표

일반 베어링 vs 클린룸 전용 소재 베어링

꼭 저희가 아니어도 됩니다

현재 라인의 파티클 발생원이 베어링이 아닌 것으로 확인됐다면, 다른 원인을 찾아야 합니다. 베어링이 원인이더라도 이미 클린룸 전용 소재를 공급할 수 있는 업체가 있다면 그 업체와 진행하십시오.

다만, 베어링 교체 이력이 없고 파티클 원인을 찾지 못하고 있다면 저희에게 문의 주십시오. 라인 환경과 현재 베어링 소재를 확인한 후, 교체가 필요한 경우에만 제안합니다. 도면 없이도 기존 베어링을 현물로 가져오시면 역설계 후 7일 이내 클린룸 전용 소재로 제작합니다. MOQ는 1개부터입니다.